实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2006年
7期
30-32
,共3页
贾士利%孙景%李家俊%杜希文%赵乃勤%师春生
賈士利%孫景%李傢俊%杜希文%趙迺勤%師春生
가사리%손경%리가준%두희문%조내근%사춘생
纳米复合薄膜%溅射%退火
納米複閤薄膜%濺射%退火
납미복합박막%천사%퇴화
讨论了Si/SiC半导体纳米复合发光薄膜退火工艺的控制.半导体纳米复合发光薄膜的光致发光性能,直接受到退火工艺的影响和制约,退火后薄膜的组态及其元素的变化等因素,可能使得薄膜变成并不是所期望得到的结果.该文采用了在不同气氛、不同退火介质、不同放置方法等防氧化方法下进行退火,提高了退火可信度,使纳米复合薄膜的结果更可靠.
討論瞭Si/SiC半導體納米複閤髮光薄膜退火工藝的控製.半導體納米複閤髮光薄膜的光緻髮光性能,直接受到退火工藝的影響和製約,退火後薄膜的組態及其元素的變化等因素,可能使得薄膜變成併不是所期望得到的結果.該文採用瞭在不同氣氛、不同退火介質、不同放置方法等防氧化方法下進行退火,提高瞭退火可信度,使納米複閤薄膜的結果更可靠.
토론료Si/SiC반도체납미복합발광박막퇴화공예적공제.반도체납미복합발광박막적광치발광성능,직접수도퇴화공예적영향화제약,퇴화후박막적조태급기원소적변화등인소,가능사득박막변성병불시소기망득도적결과.해문채용료재불동기분、불동퇴화개질、불동방치방법등방양화방법하진행퇴화,제고료퇴화가신도,사납미복합박막적결과경가고.
