强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
1期
83-85
,共3页
马兆侠%吴卫东%冯建鸿%程新路%唐永建%杨向东
馬兆俠%吳衛東%馮建鴻%程新路%唐永建%楊嚮東
마조협%오위동%풍건홍%정신로%당영건%양향동
低压等离子体%化学气相沉积%掺溴梯度薄膜%XPS能谱%非晶碳
低壓等離子體%化學氣相沉積%摻溴梯度薄膜%XPS能譜%非晶碳
저압등리자체%화학기상침적%참추제도박막%XPS능보%비정탄
采用低压等离子增强化学气相沉积法用溴乙烷、氢气制备了掺溴的非晶碳梯度薄膜.通过样品的XPS能谱分析研究了薄膜沉积速率与氢气流量、溴元素原子分数与溴乙烷流量以及溴元素原子分数与刻蚀时间之间的关系,得出了溴乙烷流量、刻蚀时间对薄膜的主要键态含量、C元素sp2/sp3键态杂化比和薄膜硬度的影响.结果表明:薄膜沉积速率随氢气流量的增加而线性减小,溴元素含量随溴乙烷流量的增加先增加后降低,刻蚀时间越长,溴乙烷流量越小,薄膜越硬.
採用低壓等離子增彊化學氣相沉積法用溴乙烷、氫氣製備瞭摻溴的非晶碳梯度薄膜.通過樣品的XPS能譜分析研究瞭薄膜沉積速率與氫氣流量、溴元素原子分數與溴乙烷流量以及溴元素原子分數與刻蝕時間之間的關繫,得齣瞭溴乙烷流量、刻蝕時間對薄膜的主要鍵態含量、C元素sp2/sp3鍵態雜化比和薄膜硬度的影響.結果錶明:薄膜沉積速率隨氫氣流量的增加而線性減小,溴元素含量隨溴乙烷流量的增加先增加後降低,刻蝕時間越長,溴乙烷流量越小,薄膜越硬.
채용저압등리자증강화학기상침적법용추을완、경기제비료참추적비정탄제도박막.통과양품적XPS능보분석연구료박막침적속솔여경기류량、추원소원자분수여추을완류량이급추원소원자분수여각식시간지간적관계,득출료추을완류량、각식시간대박막적주요건태함량、C원소sp2/sp3건태잡화비화박막경도적영향.결과표명:박막침적속솔수경기류량적증가이선성감소,추원소함량수추을완류량적증가선증가후강저,각식시간월장,추을완류량월소,박막월경.
