纺织高校基础科学学报
紡織高校基礎科學學報
방직고교기출과학학보
BASIC SCIENCES JOURNAL OF TEXTILE UNIVERSITIES
2007年
2期
181-185
,共5页
余花娃%杜亚利%王晶%刘静
餘花娃%杜亞利%王晶%劉靜
여화왜%두아리%왕정%류정
磁控溅射%ZnO薄膜%射频功率%结晶性
磁控濺射%ZnO薄膜%射頻功率%結晶性
자공천사%ZnO박막%사빈공솔%결정성
采用RF磁控溅射法,在硅(100)衬底上生长出高质量(002)晶面取向的ZnO薄膜.通过XRD和透射光谱研究了射频功率和氧气比例对ZnO薄膜的晶粒尺度、应力状态和光学性能的影响.研究结果显示,射频功率在100W下制备的ZnO薄膜,当氧气比例为60%时,能获得单一c轴择优取向和最小半高宽,压应力最小的薄膜,即结晶性较好的薄膜.
採用RF磁控濺射法,在硅(100)襯底上生長齣高質量(002)晶麵取嚮的ZnO薄膜.通過XRD和透射光譜研究瞭射頻功率和氧氣比例對ZnO薄膜的晶粒呎度、應力狀態和光學性能的影響.研究結果顯示,射頻功率在100W下製備的ZnO薄膜,噹氧氣比例為60%時,能穫得單一c軸擇優取嚮和最小半高寬,壓應力最小的薄膜,即結晶性較好的薄膜.
채용RF자공천사법,재규(100)츤저상생장출고질량(002)정면취향적ZnO박막.통과XRD화투사광보연구료사빈공솔화양기비례대ZnO박막적정립척도、응력상태화광학성능적영향.연구결과현시,사빈공솔재100W하제비적ZnO박막,당양기비례위60%시,능획득단일c축택우취향화최소반고관,압응력최소적박막,즉결정성교호적박막.
