原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
8期
941-947
,共7页
阳志林%何智兵%卢铁城%宋之敏%闫建成
暘誌林%何智兵%盧鐵城%宋之敏%閆建成
양지림%하지병%로철성%송지민%염건성
辉光放电聚合物涂层%红外吸收谱%反式二丁烯
輝光放電聚閤物塗層%紅外吸收譜%反式二丁烯
휘광방전취합물도층%홍외흡수보%반식이정희
采用低压等离子体聚合装置,在溴化钾单晶盐片上制备了气压、功率、反式二丁烯(T2B)与氢气流量比3个沉积参数系列的辉光放电聚合物(GDP)涂层.对3个系列涂层各自的红外光谱进行比较分析,结合高斯拟合,定量地讨论涂层内部SP3(CHx)与SP2(CHx)键的相对含量的变化规律,且探讨了各系列沉积参数对气体分子在等离子体发生区的离解效率和沉积过程活性粒子与涂层新生表面及亚表面相互作用的影响.结果表明,在低气压、较高功率和低流量比参数下,GDP涂层内SP3(CH3)和氢元素的含量相对较低,SP2(CH2)和碳元素的含量相对较高.
採用低壓等離子體聚閤裝置,在溴化鉀單晶鹽片上製備瞭氣壓、功率、反式二丁烯(T2B)與氫氣流量比3箇沉積參數繫列的輝光放電聚閤物(GDP)塗層.對3箇繫列塗層各自的紅外光譜進行比較分析,結閤高斯擬閤,定量地討論塗層內部SP3(CHx)與SP2(CHx)鍵的相對含量的變化規律,且探討瞭各繫列沉積參數對氣體分子在等離子體髮生區的離解效率和沉積過程活性粒子與塗層新生錶麵及亞錶麵相互作用的影響.結果錶明,在低氣壓、較高功率和低流量比參數下,GDP塗層內SP3(CH3)和氫元素的含量相對較低,SP2(CH2)和碳元素的含量相對較高.
채용저압등리자체취합장치,재추화갑단정염편상제비료기압、공솔、반식이정희(T2B)여경기류량비3개침적삼수계렬적휘광방전취합물(GDP)도층.대3개계렬도층각자적홍외광보진행비교분석,결합고사의합,정량지토론도층내부SP3(CHx)여SP2(CHx)건적상대함량적변화규률,차탐토료각계렬침적삼수대기체분자재등리자체발생구적리해효솔화침적과정활성입자여도층신생표면급아표면상호작용적영향.결과표명,재저기압、교고공솔화저류량비삼수하,GDP도층내SP3(CH3)화경원소적함량상대교저,SP2(CH2)화탄원소적함량상대교고.
