原子与分子物理学报
原子與分子物理學報
원자여분자물이학보
CHINESE JOURNAL OF ATOMIC AND MOLECULAR PHYSICS
2011年
6期
1032-1036
,共5页
张连华%潘小东%李公平%王晓冬%柳学敏%林巧露
張連華%潘小東%李公平%王曉鼕%柳學敏%林巧露
장련화%반소동%리공평%왕효동%류학민%림교로
DSMC方法%磁控溅射团簇源%团簇的尺寸
DSMC方法%磁控濺射糰簇源%糰簇的呎吋
DSMC방법%자공천사단족원%단족적척촌
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了磁控溅射气体团簇源中Cu+ (Cu-)的含量比例不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:随着含量比例的增加,团簇的尺寸分布变窄了,不带电的团簇的比例增加,不带电的铜团簇分布的最大值减小,相应的带正电荷和带负电荷团簇的比例减小；相同的含量比例下,带正电的团簇的尺寸分布与带负电荷的团簇的尺寸分布基本相同;初始Cu-比Cu+的含量比例大时,输出的主要是带负电荷的团簇,带正电荷和不带电的团簇占很小的比例；Cu-含量比例的增加,负Cu团簇的尺寸分布减小.
利用直接模擬矇特卡洛方法(DSMC),模擬瞭磁控濺射氣體糰簇源中Cu+ (Cu-)的含量比例不同的條件下,Cu糰簇的呎吋分佈.模擬結果錶明:隨著含量比例的增加,糰簇的呎吋分佈變窄瞭,不帶電的糰簇的比例增加,不帶電的銅糰簇分佈的最大值減小,相應的帶正電荷和帶負電荷糰簇的比例減小；相同的含量比例下,帶正電的糰簇的呎吋分佈與帶負電荷的糰簇的呎吋分佈基本相同;初始Cu-比Cu+的含量比例大時,輸齣的主要是帶負電荷的糰簇,帶正電荷和不帶電的糰簇佔很小的比例；Cu-含量比例的增加,負Cu糰簇的呎吋分佈減小.
이용직접모의몽특잡락방법(DSMC),모의료자공천사기체단족원중Cu+ (Cu-)적함량비례불동적조건하,Cu단족적척촌분포.모의결과표명:수착함량비례적증가,단족적척촌분포변착료,불대전적단족적비례증가,불대전적동단족분포적최대치감소,상응적대정전하화대부전하단족적비례감소；상동적함량비례하,대정전적단족적척촌분포여대부전하적단족적척촌분포기본상동;초시Cu-비Cu+적함량비례대시,수출적주요시대부전하적단족,대정전하화불대전적단족점흔소적비례；Cu-함량비례적증가,부Cu단족적척촌분포감소.
