光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2004年
4期
398-402
,共5页
周明才%白金鹏%谢勇君%来五星%史铁林
週明纔%白金鵬%謝勇君%來五星%史鐵林
주명재%백금붕%사용군%래오성%사철림
微机电系统%动态测试%亚像素定位%立方样条插值%相位去包裹
微機電繫統%動態測試%亞像素定位%立方樣條插值%相位去包裹
미궤전계통%동태측시%아상소정위%립방양조삽치%상위거포과
介绍了基于频闪显微干涉技术的MEMS动态测试系统的测量原理,设计了数据分析处理算法.采用基于立方插值的亚像素模板匹配技术实现了1/50像素的面内位移测量精度.利用分割线去包裹算法实现了从干涉图到三维形貌图的重构.
介紹瞭基于頻閃顯微榦涉技術的MEMS動態測試繫統的測量原理,設計瞭數據分析處理算法.採用基于立方插值的亞像素模闆匹配技術實現瞭1/50像素的麵內位移測量精度.利用分割線去包裹算法實現瞭從榦涉圖到三維形貌圖的重構.
개소료기우빈섬현미간섭기술적MEMS동태측시계통적측량원리,설계료수거분석처리산법.채용기우립방삽치적아상소모판필배기술실현료1/50상소적면내위이측량정도.이용분할선거포과산법실현료종간섭도도삼유형모도적중구.
