光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2004年
z1期
6-10
,共5页
分子动力学模拟%微机电系统%纳米摩擦学%界面摩擦
分子動力學模擬%微機電繫統%納米摩抆學%界麵摩抆
분자동역학모의%미궤전계통%납미마찰학%계면마찰
微机电系统(MEMS)的尺度深入到微-纳米量级时,表面力与体积力相比成为起主导作用的力,其黏着效应与表面效应渐成主导的或不可忽略的机制.分子动力学模拟的日趋成熟,使人们有可能研究一种最单纯的摩擦状态,即"界面摩擦",它是指把负荷引起的塑性变形、黏着和粗糙度的影响抑制到最低限度,实现原子级光滑表面的分子接触时的摩擦状态.对不同材料的界面摩擦过程进行了分子动力学(MD)模拟研究,采用基于Morse势函数描述原子间的相互作用,以牛顿方程建立力学运动方程,使用改进后的Verlet算法求解原子运动轨迹.将MD仿真结果得出的微观摩擦规律与文献[7]等实验对比,并进行了讨论.最后在此基础上探讨了分子动力学方法在微机械设计中的作用及发展方向.
微機電繫統(MEMS)的呎度深入到微-納米量級時,錶麵力與體積力相比成為起主導作用的力,其黏著效應與錶麵效應漸成主導的或不可忽略的機製.分子動力學模擬的日趨成熟,使人們有可能研究一種最單純的摩抆狀態,即"界麵摩抆",它是指把負荷引起的塑性變形、黏著和粗糙度的影響抑製到最低限度,實現原子級光滑錶麵的分子接觸時的摩抆狀態.對不同材料的界麵摩抆過程進行瞭分子動力學(MD)模擬研究,採用基于Morse勢函數描述原子間的相互作用,以牛頓方程建立力學運動方程,使用改進後的Verlet算法求解原子運動軌跡.將MD倣真結果得齣的微觀摩抆規律與文獻[7]等實驗對比,併進行瞭討論.最後在此基礎上探討瞭分子動力學方法在微機械設計中的作用及髮展方嚮.
미궤전계통(MEMS)적척도심입도미-납미량급시,표면력여체적력상비성위기주도작용적력,기점착효응여표면효응점성주도적혹불가홀략적궤제.분자동역학모의적일추성숙,사인문유가능연구일충최단순적마찰상태,즉"계면마찰",타시지파부하인기적소성변형、점착화조조도적영향억제도최저한도,실현원자급광활표면적분자접촉시적마찰상태.대불동재료적계면마찰과정진행료분자동역학(MD)모의연구,채용기우Morse세함수묘술원자간적상호작용,이우돈방정건립역학운동방정,사용개진후적Verlet산법구해원자운동궤적.장MD방진결과득출적미관마찰규률여문헌[7]등실험대비,병진행료토론.최후재차기출상탐토료분자동역학방법재미궤계설계중적작용급발전방향.
