人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
1期
141-145
,共5页
卢相甫%程文娟%马学鸣%石旺舟
盧相甫%程文娟%馬學鳴%石旺舟
로상보%정문연%마학명%석왕주
ZnO-SiO2复合薄膜%热退火%Zn2SiO4%光致发光
ZnO-SiO2複閤薄膜%熱退火%Zn2SiO4%光緻髮光
ZnO-SiO2복합박막%열퇴화%Zn2SiO4%광치발광
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在单晶Si衬底上制备了ZnO-SiO2复合薄膜.分别用SEM、XRD观察了样品在沉积态(300℃)及700℃和900℃下热退火后的形貌和结构.发现经700℃热处理后,样品中有第三相β-Zn2SiO4形成,经900℃热处理后的样品中硅锌矿型Zn2SiO4取代了β-Zn2SiO4成为第三相.研究了热退火处理前后样品的荧光特性变化,结果表明经700℃热处理后,荧光光谱与沉积态相比,紫外区域的发光强度有较大提高,可见光区域的宽带强度变弱;经900℃热处理后,紫外区域荧光强度与700℃处理相比略有减小,可见光发光带消失.
採用脈遲激光沉積技術(PLD)在單晶Si襯底上製備瞭ZnO-SiO2複閤薄膜.分彆用SEM、XRD觀察瞭樣品在沉積態(300℃)及700℃和900℃下熱退火後的形貌和結構.髮現經700℃熱處理後,樣品中有第三相β-Zn2SiO4形成,經900℃熱處理後的樣品中硅鋅礦型Zn2SiO4取代瞭β-Zn2SiO4成為第三相.研究瞭熱退火處理前後樣品的熒光特性變化,結果錶明經700℃熱處理後,熒光光譜與沉積態相比,紫外區域的髮光彊度有較大提高,可見光區域的寬帶彊度變弱;經900℃熱處理後,紫外區域熒光彊度與700℃處理相比略有減小,可見光髮光帶消失.
채용맥충격광침적기술(PLD)재단정Si츤저상제비료ZnO-SiO2복합박막.분별용SEM、XRD관찰료양품재침적태(300℃)급700℃화900℃하열퇴화후적형모화결구.발현경700℃열처리후,양품중유제삼상β-Zn2SiO4형성,경900℃열처리후적양품중규자광형Zn2SiO4취대료β-Zn2SiO4성위제삼상.연구료열퇴화처리전후양품적형광특성변화,결과표명경700℃열처리후,형광광보여침적태상비,자외구역적발광강도유교대제고,가견광구역적관대강도변약;경900℃열처리후,자외구역형광강도여700℃처리상비략유감소,가견광발광대소실.
