电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2007年
1期
41-45
,共5页
岳瑞峰%吴建刚%曾雪锋%康明%刘理天
嶽瑞峰%吳建剛%曾雪鋒%康明%劉理天
악서봉%오건강%증설봉%강명%류리천
介质上电润湿%液滴的操纵与控制%数字微流控系统%芯片实验室
介質上電潤濕%液滴的操縱與控製%數字微流控繫統%芯片實驗室
개질상전윤습%액적적조종여공제%수자미류공계통%심편실험실
根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的"三明治"结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质层;上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极;另外,在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30 nm厚的Teflon薄膜为表面疏水层.实验结果表明,在空气气氛中,该器件在10 Hz 70 V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发.
根據介質上電潤濕的基本原理,對用于數字微流控繫統的"三明治"結構器件中影響液滴輸運和產生的因素進行瞭理論分析,併研製齣瞭一種新型液滴產生器原型:液體被夾在上下兩箇電極闆之間;下極闆採用硅作為襯底、LPCVD摻雜多晶硅微電極陣列上熱氧化生長的的SiO2薄膜作為介質層;上極闆採用ITO透明導電玻璃闆作為地電極;另外,在上下極闆的錶麵都均勻鏇轉塗覆瞭一層30 nm厚的Teflon薄膜為錶麵疏水層.實驗結果錶明,在空氣氣氛中,該器件在10 Hz 70 V的脈遲電壓下成功地實現瞭從蓄水池中對去離子水滴的分髮.
근거개질상전윤습적기본원리,대용우수자미류공계통적"삼명치"결구기건중영향액적수운화산생적인소진행료이론분석,병연제출료일충신형액적산생기원형:액체피협재상하량개전겁판지간;하겁판채용규작위츤저、LPCVD참잡다정규미전겁진렬상열양화생장적적SiO2박막작위개질층;상겁판채용ITO투명도전파리판작위지전겁;령외,재상하겁판적표면도균균선전도복료일층30 nm후적Teflon박막위표면소수층.실험결과표명,재공기기분중,해기건재10 Hz 70 V적맥충전압하성공지실현료종축수지중대거리자수적적분발.
