固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2007年
4期
550-552,582
,共4页
贺训军%吴群%金博识%殷景华
賀訓軍%吳群%金博識%慇景華
하훈군%오군%금박식%은경화
微机电系统%电容开关%开启时间%分布式移相器%相控阵天线
微機電繫統%電容開關%開啟時間%分佈式移相器%相控陣天線
미궤전계통%전용개관%개계시간%분포식이상기%상공진천선
提出一种适合于分析微波分布式MEMS移相器静电驱动电容开关的开启时间阳动态特性的新方法.采用IntelliSuiteTM模拟工具的SYNPLE模块研究材料、驱动电压、MEMS桥高度和共面波导信号线宽度对电容开启时间的影响.通过优化参数,分析结果表明:对于金电容开关,V=40 V、g0=2.5 μm和W=100μm,开关的开启时间为～7μs.
提齣一種適閤于分析微波分佈式MEMS移相器靜電驅動電容開關的開啟時間暘動態特性的新方法.採用IntelliSuiteTM模擬工具的SYNPLE模塊研究材料、驅動電壓、MEMS橋高度和共麵波導信號線寬度對電容開啟時間的影響.通過優化參數,分析結果錶明:對于金電容開關,V=40 V、g0=2.5 μm和W=100μm,開關的開啟時間為～7μs.
제출일충괄합우분석미파분포식MEMS이상기정전구동전용개관적개계시간양동태특성적신방법.채용IntelliSuiteTM모의공구적SYNPLE모괴연구재료、구동전압、MEMS교고도화공면파도신호선관도대전용개계시간적영향.통과우화삼수,분석결과표명:대우금전용개관,V=40 V、g0=2.5 μm화W=100μm,개관적개계시간위～7μs.
