中国石油和化工标准与质量
中國石油和化工標準與質量
중국석유화화공표준여질량
ZHONG GUO SHI YOU HE HUA GONG BIAO ZHUN YU ZHI LIANG
2011年
8期
43,48
,共2页
晶体硅硅片%化学抛光、腐蚀%共聚焦显微镜%缺陷
晶體硅硅片%化學拋光、腐蝕%共聚焦顯微鏡%缺陷
정체규규편%화학포광、부식%공취초현미경%결함
对太阳电池用晶硅片的缺陷表征,目前大都采周厚1mm-3mm的片子进行测试研究,为了与当前批量生产晶硅片相兼容,我们使用常规生产的硅片(厚度180μ m-200um)进行分析测试.文章主要论述了对180μ m-200um厚的常规生产晶硅片的化学抛光、化学腐蚀的实验方法及采用共聚焦显微镜方法进行观察和表征晶体硅缺陷的方法及内容.
對太暘電池用晶硅片的缺陷錶徵,目前大都採週厚1mm-3mm的片子進行測試研究,為瞭與噹前批量生產晶硅片相兼容,我們使用常規生產的硅片(厚度180μ m-200um)進行分析測試.文章主要論述瞭對180μ m-200um厚的常規生產晶硅片的化學拋光、化學腐蝕的實驗方法及採用共聚焦顯微鏡方法進行觀察和錶徵晶體硅缺陷的方法及內容.
대태양전지용정규편적결함표정,목전대도채주후1mm-3mm적편자진행측시연구,위료여당전비량생산정규편상겸용,아문사용상규생산적규편(후도180μ m-200um)진행분석측시.문장주요논술료대180μ m-200um후적상규생산정규편적화학포광、화학부식적실험방법급채용공취초현미경방법진행관찰화표정정체규결함적방법급내용.
