光通信技术
光通信技術
광통신기술
OPTICAL COMMUNICATION TECHNOLOGY
2012年
4期
22-24
,共3页
刘英明%徐静%李四华%吴亚明
劉英明%徐靜%李四華%吳亞明
류영명%서정%리사화%오아명
体硅工艺%光栅光阀%光学调制器%绝缘体上硅%消光比
體硅工藝%光柵光閥%光學調製器%絕緣體上硅%消光比
체규공예%광책광벌%광학조제기%절연체상규%소광비
采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计.对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析.器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰峰值为50mv,响应时间为10μs的调制后波形.
採用體硅微加工工藝製作瞭一種基于光柵光閥(GLV)的光學調製器,使用倣真軟件對器件參數進行瞭優化設計.對加工齣來的器件進行瞭測試,併對測試結果進行瞭分析.器件成功的實現瞭光學調製的功能,採用10kHz的方波信號進行調製時,得到瞭峰峰值為50mv,響應時間為10μs的調製後波形.
채용체규미가공공예제작료일충기우광책광벌(GLV)적광학조제기,사용방진연건대기건삼수진행료우화설계.대가공출래적기건진행료측시,병대측시결과진행료분석.기건성공적실현료광학조제적공능,채용10kHz적방파신호진행조제시,득도료봉봉치위50mv,향응시간위10μs적조제후파형.