物理
物理
물리
2004年
6期
430-434
,共5页
大气压辉光放电%均匀性%低温等离子体
大氣壓輝光放電%均勻性%低溫等離子體
대기압휘광방전%균균성%저온등리자체
大气压辉光放电由于均匀性好、能量效率高并且不需要真空系统,正日益受到人们重视和研究.文章综述了大气压辉光放电的研究进展,包括实验条件、放电特征、放电机理以及最新的诊断方法,还介绍它在薄膜沉积、材料表面改性、污染物质的消毒去污等方面的应用前景.
大氣壓輝光放電由于均勻性好、能量效率高併且不需要真空繫統,正日益受到人們重視和研究.文章綜述瞭大氣壓輝光放電的研究進展,包括實驗條件、放電特徵、放電機理以及最新的診斷方法,還介紹它在薄膜沉積、材料錶麵改性、汙染物質的消毒去汙等方麵的應用前景.
대기압휘광방전유우균균성호、능량효솔고병차불수요진공계통,정일익수도인문중시화연구.문장종술료대기압휘광방전적연구진전,포괄실험조건、방전특정、방전궤리이급최신적진단방법,환개소타재박막침적、재료표면개성、오염물질적소독거오등방면적응용전경.
