生物医学工程研究
生物醫學工程研究
생물의학공정연구
JOURNAL OF BIOMEDICAL ENGINEERING RESEARCH
2005年
3期
179-182
,共4页
程佳%朱纪军%SIMON S. Ang
程佳%硃紀軍%SIMON S. Ang
정가%주기군%SIMON S. Ang
微流控芯片%聚二甲基硅氧烷%氧等离子体%曝光%显影%湿法刻蚀
微流控芯片%聚二甲基硅氧烷%氧等離子體%曝光%顯影%濕法刻蝕
미류공심편%취이갑기규양완%양등리자체%폭광%현영%습법각식
介绍一种基于玻璃基底微流控芯片的制作方法,通过光刻工艺在玻璃基底表面刻蚀出微通道.利用氧等离子体对聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)和微通道所在的基底表面进行处理,使PDMS与基底表面性质由疏水性变为亲水性,完成PDMS与玻璃基底的共价键结合.通过实验表明,经氧等离子体处理之后的PDMS与玻璃基底的密封效果较好.鉴于PDMS具有良好的热稳定性,无毒性,以及较好的光学特性等,此微流控芯片可用于生物医学以及化学领域中的化学发光及荧光检测.
介紹一種基于玻璃基底微流控芯片的製作方法,通過光刻工藝在玻璃基底錶麵刻蝕齣微通道.利用氧等離子體對聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)和微通道所在的基底錶麵進行處理,使PDMS與基底錶麵性質由疏水性變為親水性,完成PDMS與玻璃基底的共價鍵結閤.通過實驗錶明,經氧等離子體處理之後的PDMS與玻璃基底的密封效果較好.鑒于PDMS具有良好的熱穩定性,無毒性,以及較好的光學特性等,此微流控芯片可用于生物醫學以及化學領域中的化學髮光及熒光檢測.
개소일충기우파리기저미류공심편적제작방법,통과광각공예재파리기저표면각식출미통도.이용양등리자체대취이갑기규양완(Polydimethylsiloxane,PDMS)화미통도소재적기저표면진행처리,사PDMS여기저표면성질유소수성변위친수성,완성PDMS여파리기저적공개건결합.통과실험표명,경양등리자체처리지후적PDMS여파리기저적밀봉효과교호.감우PDMS구유량호적열은정성,무독성,이급교호적광학특성등,차미류공심편가용우생물의학이급화학영역중적화학발광급형광검측.
