西安工业学院学报
西安工業學院學報
서안공업학원학보
JOURNAL OF XI'AN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2006年
2期
103-106
,共4页
脉冲电弧%类金刚石薄膜%3Cr13不锈钢%表面形貌%过渡层
脈遲電弧%類金剛石薄膜%3Cr13不鏽鋼%錶麵形貌%過渡層
맥충전호%류금강석박막%3Cr13불수강%표면형모%과도층
利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢基底上制备类金刚石(DLC)薄膜,采用X射线光电子能谱技术分析DLC 薄膜中sp3 键及sp2 键含量和组分.采用显微硬度计测试了薄膜的显微硬度,利用扫描电镜测试了膜的表面形貌.划痕仪测试了薄膜与不锈钢基底的结合强度.结果表明:所镀制的类金刚石薄膜品质优良,类金刚石中sp3键含量较高,sp3/ sp2 =1.63,具有良好的表面形貌, 在不锈钢上沉积DLC膜后明显提高了不锈钢的硬度,Ti过渡层的引入明显的改善了膜与不锈钢之间的结合强度.
利用脈遲真空電弧離子鍍技術在3Cr13不鏽鋼基底上製備類金剛石(DLC)薄膜,採用X射線光電子能譜技術分析DLC 薄膜中sp3 鍵及sp2 鍵含量和組分.採用顯微硬度計測試瞭薄膜的顯微硬度,利用掃描電鏡測試瞭膜的錶麵形貌.劃痕儀測試瞭薄膜與不鏽鋼基底的結閤彊度.結果錶明:所鍍製的類金剛石薄膜品質優良,類金剛石中sp3鍵含量較高,sp3/ sp2 =1.63,具有良好的錶麵形貌, 在不鏽鋼上沉積DLC膜後明顯提高瞭不鏽鋼的硬度,Ti過渡層的引入明顯的改善瞭膜與不鏽鋼之間的結閤彊度.
이용맥충진공전호리자도기술재3Cr13불수강기저상제비류금강석(DLC)박막,채용X사선광전자능보기술분석DLC 박막중sp3 건급sp2 건함량화조분.채용현미경도계측시료박막적현미경도,이용소묘전경측시료막적표면형모.화흔의측시료박막여불수강기저적결합강도.결과표명:소도제적류금강석박막품질우량,류금강석중sp3건함량교고,sp3/ sp2 =1.63,구유량호적표면형모, 재불수강상침적DLC막후명현제고료불수강적경도,Ti과도층적인입명현적개선료막여불수강지간적결합강도.
