功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
3期
629-633
,共5页
杨卓青%丁桂甫%蔡豪刚%付世%赵小林
楊卓青%丁桂甫%蔡豪剛%付世%趙小林
양탁청%정계보%채호강%부세%조소림
微型惯性开关%非硅表面微加工%设计%动力学仿真
微型慣性開關%非硅錶麵微加工%設計%動力學倣真
미형관성개관%비규표면미가공%설계%동역학방진
基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关.较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏.对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加.
基于非硅錶麵微加工技術,設計瞭一種新的MEMS微型慣性電學開關.較厚的質量塊可動電極和位于其上方懸空的彈性樑固定電極,不但有利于提高開關器件的觸髮靈敏度和接觸效果,而且可避免質量塊和彈簧過多偏離對器件造成的損壞.對所設計開關進行瞭有限元動態接觸倣真,結果錶明開關在100g加速度作用下的響應時間和接觸時間分彆約為0.24ms和10μs,錶現齣較高的觸髮靈敏度和良好的接觸效果,隨加速度的增加慣性開關的響應時間減小,兩電極的接觸時間增加.
기우비규표면미가공기술,설계료일충신적MEMS미형관성전학개관.교후적질량괴가동전겁화위우기상방현공적탄성량고정전겁,불단유리우제고개관기건적촉발령민도화접촉효과,이차가피면질량괴화탄황과다편리대기건조성적손배.대소설계개관진행료유한원동태접촉방진,결과표명개관재100g가속도작용하적향응시간화접촉시간분별약위0.24ms화10μs,표현출교고적촉발령민도화량호적접촉효과,수가속도적증가관성개관적향응시간감소,량전겁적접촉시간증가.
