中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2009年
4期
26-30
,共5页
徐淑艳%马欣新%唐光泽%孙明仁
徐淑豔%馬訢新%唐光澤%孫明仁
서숙염%마흔신%당광택%손명인
BCN薄膜%靶功率%基体偏压%组织结构
BCN薄膜%靶功率%基體偏壓%組織結構
BCN박막%파공솔%기체편압%조직결구
利用直流磁控溅射技术制备了三元硼碳氮(BCN)薄膜,通过改变靶功率(70 W和210 W)和基体偏压(-50 V～-400 V)得到不同成分和组织结构的薄膜.采用X射线光电子能谱仪和傅立叶红外光谱仪分析了薄膜的成分和结构.结果表明:靶功率增加使得薄膜成分发生改变,而基体偏压改变对薄膜中各元素的原子百分含量几乎没有影响;基体偏压的增加会引起高能粒子对基体的轰击作用增强,有利于薄膜中B-N键的形成,而且轰击能量越高越有利于sp3杂化的B-N键形成.
利用直流磁控濺射技術製備瞭三元硼碳氮(BCN)薄膜,通過改變靶功率(70 W和210 W)和基體偏壓(-50 V～-400 V)得到不同成分和組織結構的薄膜.採用X射線光電子能譜儀和傅立葉紅外光譜儀分析瞭薄膜的成分和結構.結果錶明:靶功率增加使得薄膜成分髮生改變,而基體偏壓改變對薄膜中各元素的原子百分含量幾乎沒有影響;基體偏壓的增加會引起高能粒子對基體的轟擊作用增彊,有利于薄膜中B-N鍵的形成,而且轟擊能量越高越有利于sp3雜化的B-N鍵形成.
이용직류자공천사기술제비료삼원붕탄담(BCN)박막,통과개변파공솔(70 W화210 W)화기체편압(-50 V～-400 V)득도불동성분화조직결구적박막.채용X사선광전자능보의화부립협홍외광보의분석료박막적성분화결구.결과표명:파공솔증가사득박막성분발생개변,이기체편압개변대박막중각원소적원자백분함량궤호몰유영향;기체편압적증가회인기고능입자대기체적굉격작용증강,유리우박막중B-N건적형성,이차굉격능량월고월유리우sp3잡화적B-N건형성.
