电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2010年
5期
1053-1057
,共5页
董林玺%焦继伟%颜海霞%孙玲玲
董林璽%焦繼偉%顏海霞%孫玲玲
동림새%초계위%안해하%손령령
电容式加速度计%惯性传感器%高精度%深度粒子反应刻蚀
電容式加速度計%慣性傳感器%高精度%深度粒子反應刻蝕
전용식가속도계%관성전감기%고정도%심도입자반응각식
增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声,而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因,当深宽比较大时,不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此,本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器,通过电磁驱动器,传感器的静态测试电容可以大幅增加,在梳齿电容上刻蚀阻尼槽后,其机械噪声达到0.61μg每根号赫兹,仿真其共振频率为598Hz,静态位移灵敏度为0.7μm每重力加速度,基于硅-玻璃键合工艺,制作了栅形条电容式惯性传感器,并用电磁驱动的方式测试其品质因子达到715,从而验证了制作工艺的可行性和电磁驱动器改变传感器初始静态测试电容的可行性.
增大傳感器振子的質量和靜態測試電容可以減小電容式MEMS慣性傳感繫統的譟聲,而深度粒子反應刻蝕工藝由于複雜的工藝原因,噹深寬比較大時,不能刻蝕齣大質量和大初始電容的傳感器.據此,本文研究瞭一種磁驅動增大檢測電容的MEMS慣性傳感器,通過電磁驅動器,傳感器的靜態測試電容可以大幅增加,在梳齒電容上刻蝕阻尼槽後,其機械譟聲達到0.61μg每根號赫玆,倣真其共振頻率為598Hz,靜態位移靈敏度為0.7μm每重力加速度,基于硅-玻璃鍵閤工藝,製作瞭柵形條電容式慣性傳感器,併用電磁驅動的方式測試其品質因子達到715,從而驗證瞭製作工藝的可行性和電磁驅動器改變傳感器初始靜態測試電容的可行性.
증대전감기진자적질량화정태측시전용가이감소전용식MEMS관성전감계통적조성,이심도입자반응각식공예유우복잡적공예원인,당심관비교대시,불능각식출대질량화대초시전용적전감기.거차,본문연구료일충자구동증대검측전용적MEMS관성전감기,통과전자구동기,전감기적정태측시전용가이대폭증가,재소치전용상각식조니조후,기궤계조성체도0.61μg매근호혁자,방진기공진빈솔위598Hz,정태위이령민도위0.7μm매중력가속도,기우규-파리건합공예,제작료책형조전용식관성전감기,병용전자구동적방식측시기품질인자체도715,종이험증료제작공예적가행성화전자구동기개변전감기초시정태측시전용적가행성.
