功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
z2期
361-364
,共4页
严剑飞%吴志明%太惠玲%李娴%付嵩琦
嚴劍飛%吳誌明%太惠玲%李嫻%付嵩琦
엄검비%오지명%태혜령%리한%부숭기
刻蚀%有机薄膜晶体管%钛/金%最佳工艺条件
刻蝕%有機薄膜晶體管%鈦/金%最佳工藝條件
각식%유궤박막정체관%태/금%최가공예조건
采用感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀和湿法刻蚀的方法,分别刻蚀有机薄膜晶体管(OTFT)的钛/金薄膜电极.改变刻蚀的工艺条件,研究了不同的刻蚀工艺对OTFT器件性能的影响,并对刻蚀结果进行了比较与分析.结果表明,ICP干法刻蚀不适合用来刻蚀OTFT器件的钛/金电极,而湿法刻蚀工艺可用于刻蚀关键尺寸为5μm及其以上的钛/金电极,其最佳工艺条件分别是n(HF):n(HNO3):n(H2O)=1:1:5和n(KI):n(I2):n(H2O)=4:1:40.
採用感應耦閤等離子體(ICP)榦法刻蝕和濕法刻蝕的方法,分彆刻蝕有機薄膜晶體管(OTFT)的鈦/金薄膜電極.改變刻蝕的工藝條件,研究瞭不同的刻蝕工藝對OTFT器件性能的影響,併對刻蝕結果進行瞭比較與分析.結果錶明,ICP榦法刻蝕不適閤用來刻蝕OTFT器件的鈦/金電極,而濕法刻蝕工藝可用于刻蝕關鍵呎吋為5μm及其以上的鈦/金電極,其最佳工藝條件分彆是n(HF):n(HNO3):n(H2O)=1:1:5和n(KI):n(I2):n(H2O)=4:1:40.
채용감응우합등리자체(ICP)간법각식화습법각식적방법,분별각식유궤박막정체관(OTFT)적태/금박막전겁.개변각식적공예조건,연구료불동적각식공예대OTFT기건성능적영향,병대각식결과진행료비교여분석.결과표명,ICP간법각식불괄합용래각식OTFT기건적태/금전겁,이습법각식공예가용우각식관건척촌위5μm급기이상적태/금전겁,기최가공예조건분별시n(HF):n(HNO3):n(H2O)=1:1:5화n(KI):n(I2):n(H2O)=4:1:40.
