哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
4期
96-97,100
,共3页
硅平面技术%低击穿%刻蚀沟槽
硅平麵技術%低擊穿%刻蝕溝槽
규평면기술%저격천%각식구조
为提高硅平面大功率管的成品率和可靠性,提出了一种刻蚀槽和低温钝化相结合的克服低击穿的硅平面技术.采用该技术可消除绝大多数平面晶体管管芯的低击穿和穿通点,从而大幅度提高管芯、特别是大功率管管芯的合格率和高档品率.由于应用该技术可消除低击穿点及杂质淀积和缺陷集中区而使器件的固有可靠性得到提高.
為提高硅平麵大功率管的成品率和可靠性,提齣瞭一種刻蝕槽和低溫鈍化相結閤的剋服低擊穿的硅平麵技術.採用該技術可消除絕大多數平麵晶體管管芯的低擊穿和穿通點,從而大幅度提高管芯、特彆是大功率管管芯的閤格率和高檔品率.由于應用該技術可消除低擊穿點及雜質澱積和缺陷集中區而使器件的固有可靠性得到提高.
위제고규평면대공솔관적성품솔화가고성,제출료일충각식조화저온둔화상결합적극복저격천적규평면기술.채용해기술가소제절대다수평면정체관관심적저격천화천통점,종이대폭도제고관심、특별시대공솔관관심적합격솔화고당품솔.유우응용해기술가소제저격천점급잡질정적화결함집중구이사기건적고유가고성득도제고.
