固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2004年
4期
529-534
,共6页
黄蕙芬%周新宇%张浩康%张修太%王震%钟锐
黃蕙芬%週新宇%張浩康%張脩太%王震%鐘銳
황혜분%주신우%장호강%장수태%왕진%종예
Y2O3:Eu膜%电致发光%射频磁控溅射%电子束蒸发
Y2O3:Eu膜%電緻髮光%射頻磁控濺射%電子束蒸髮
Y2O3:Eu막%전치발광%사빈자공천사%전자속증발
采用电子束蒸发和射频磁控溅射技术沉积了Y2O3:Eu电致发光薄膜,对膜进行了不同温度的大气热处理.用原子力显微镜(AFM)观察了Y2O3:Eu膜的表面形貌,用X射线(XRD)分析了Y2O3:Eu膜的结构,并对两种Y2O3:Eu膜的微结构和表面形貌进行了比较.结果表明,射频磁控溅射Y2O3:Eu膜与电子束蒸发Y2O3:Eu膜相比,结构更致密,表面更平滑,而且,在900°C高温热处理后,溅射膜呈现单斜晶系结构,具有该结构的Y2O3:Eu膜适宜于作电致发光膜.
採用電子束蒸髮和射頻磁控濺射技術沉積瞭Y2O3:Eu電緻髮光薄膜,對膜進行瞭不同溫度的大氣熱處理.用原子力顯微鏡(AFM)觀察瞭Y2O3:Eu膜的錶麵形貌,用X射線(XRD)分析瞭Y2O3:Eu膜的結構,併對兩種Y2O3:Eu膜的微結構和錶麵形貌進行瞭比較.結果錶明,射頻磁控濺射Y2O3:Eu膜與電子束蒸髮Y2O3:Eu膜相比,結構更緻密,錶麵更平滑,而且,在900°C高溫熱處理後,濺射膜呈現單斜晶繫結構,具有該結構的Y2O3:Eu膜適宜于作電緻髮光膜.
채용전자속증발화사빈자공천사기술침적료Y2O3:Eu전치발광박막,대막진행료불동온도적대기열처리.용원자력현미경(AFM)관찰료Y2O3:Eu막적표면형모,용X사선(XRD)분석료Y2O3:Eu막적결구,병대량충Y2O3:Eu막적미결구화표면형모진행료비교.결과표명,사빈자공천사Y2O3:Eu막여전자속증발Y2O3:Eu막상비,결구경치밀,표면경평활,이차,재900°C고온열처리후,천사막정현단사정계결구,구유해결구적Y2O3:Eu막괄의우작전치발광막.
