稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2004年
6期
963-966
,共4页
杜永胜%王波%许仕龙%于敦波%李彤%严辉%张深根
杜永勝%王波%許仕龍%于敦波%李彤%嚴輝%張深根
두영성%왕파%허사룡%우돈파%리동%엄휘%장심근
LSMO薄膜%SMO缓冲层%择优取向生长
LSMO薄膜%SMO緩遲層%擇優取嚮生長
LSMO박막%SMO완충층%택우취향생장
利用磁控溅射方法在(100)Si衬底上首先生长SrMnO3(SMO)作为缓冲层,再沉积得到了(110)择优取向生长的La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)薄膜.利用X射线衍射仪分析了SMO缓冲层的结构特征对LSMO薄膜择优取向生长的影响.结果表明:当沉积温度为600℃时,增加缓冲层SMO的厚度,LSMO薄膜的取向性变好;当缓冲层SMO厚度为45 nm时,LSMO薄膜基本具有(110)取向生长的特征.进一步的工作证实:提高沉积温度,能够显著增加SMO缓冲层的晶粒大小,并减少LSMO薄膜择优取向生长所需的缓冲层厚度;当沉积温度为800℃时,由于类退火作用的存在,厚度为10 nm的SMO缓冲层就可以实现LSMO薄膜择优取向的生长.
利用磁控濺射方法在(100)Si襯底上首先生長SrMnO3(SMO)作為緩遲層,再沉積得到瞭(110)擇優取嚮生長的La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)薄膜.利用X射線衍射儀分析瞭SMO緩遲層的結構特徵對LSMO薄膜擇優取嚮生長的影響.結果錶明:噹沉積溫度為600℃時,增加緩遲層SMO的厚度,LSMO薄膜的取嚮性變好;噹緩遲層SMO厚度為45 nm時,LSMO薄膜基本具有(110)取嚮生長的特徵.進一步的工作證實:提高沉積溫度,能夠顯著增加SMO緩遲層的晶粒大小,併減少LSMO薄膜擇優取嚮生長所需的緩遲層厚度;噹沉積溫度為800℃時,由于類退火作用的存在,厚度為10 nm的SMO緩遲層就可以實現LSMO薄膜擇優取嚮的生長.
이용자공천사방법재(100)Si츤저상수선생장SrMnO3(SMO)작위완충층,재침적득도료(110)택우취향생장적La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)박막.이용X사선연사의분석료SMO완충층적결구특정대LSMO박막택우취향생장적영향.결과표명:당침적온도위600℃시,증가완충층SMO적후도,LSMO박막적취향성변호;당완충층SMO후도위45 nm시,LSMO박막기본구유(110)취향생장적특정.진일보적공작증실:제고침적온도,능구현저증가SMO완충층적정립대소,병감소LSMO박막택우취향생장소수적완충층후도;당침적온도위800℃시,유우류퇴화작용적존재,후도위10 nm적SMO완충층취가이실현LSMO박막택우취향적생장.
