真空
真空
진공
VACUUM
2005年
1期
15-17
,共3页
真空%阴极电弧放电%TiO2薄膜
真空%陰極電弧放電%TiO2薄膜
진공%음겁전호방전%TiO2박막
在真空条件下利用真空电弧源在不同基底材料上镀制了TiO2薄膜.对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强和偏压等因素进行了研究.X射线衍射结构分析结果显示TiO2薄膜主要以锐钛矿相为主及少量的金红石相.对TiO2薄膜的物理性质、化学性质进行了初步检测.
在真空條件下利用真空電弧源在不同基底材料上鍍製瞭TiO2薄膜.對影響鍍膜過程和膜層質量的氧氣工作壓彊和偏壓等因素進行瞭研究.X射線衍射結構分析結果顯示TiO2薄膜主要以銳鈦礦相為主及少量的金紅石相.對TiO2薄膜的物理性質、化學性質進行瞭初步檢測.
재진공조건하이용진공전호원재불동기저재료상도제료TiO2박막.대영향도막과정화막층질량적양기공작압강화편압등인소진행료연구.X사선연사결구분석결과현시TiO2박막주요이예태광상위주급소량적금홍석상.대TiO2박막적물이성질、화학성질진행료초보검측.
