光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2006年
10期
1208-1211,1232
,共5页
戚巽骏%林斌%陈浙泊%曹向群%陈钰清
慼巽駿%林斌%陳浙泊%曹嚮群%陳鈺清
척손준%림빈%진절박%조향군%진옥청
位置敏感探测器(PSD)%近红外%pn结%光谱响应
位置敏感探測器(PSD)%近紅外%pn結%光譜響應
위치민감탐측기(PSD)%근홍외%pn결%광보향응
建立一种新的Si基位置敏感探测器(PSD)光生电流理论模型,导出了PSD的光生电流、光谱灵敏度的表达式;研究了PSD光敏面各层厚度和SiO2薄膜厚度对PSD波长响应灵敏度的影响,认为p层的厚度主要影响PSD在短波段的响应度,而耗尽层对PSD的中长波响应有着很大的影响;设计并制造了二维近红外枕形PSD,对其进行实际测试,其光谱响应峰值波长为920 nm,灵敏度达到0.626 A/W.
建立一種新的Si基位置敏感探測器(PSD)光生電流理論模型,導齣瞭PSD的光生電流、光譜靈敏度的錶達式;研究瞭PSD光敏麵各層厚度和SiO2薄膜厚度對PSD波長響應靈敏度的影響,認為p層的厚度主要影響PSD在短波段的響應度,而耗儘層對PSD的中長波響應有著很大的影響;設計併製造瞭二維近紅外枕形PSD,對其進行實際測試,其光譜響應峰值波長為920 nm,靈敏度達到0.626 A/W.
건립일충신적Si기위치민감탐측기(PSD)광생전류이론모형,도출료PSD적광생전류、광보령민도적표체식;연구료PSD광민면각층후도화SiO2박막후도대PSD파장향응령민도적영향,인위p층적후도주요영향PSD재단파단적향응도,이모진층대PSD적중장파향응유착흔대적영향;설계병제조료이유근홍외침형PSD,대기진행실제측시,기광보향응봉치파장위920 nm,령민도체도0.626 A/W.
