仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2007年
1期
1-2,13
,共3页
厚膜技术%硅微机械%加速度传感器%单片
厚膜技術%硅微機械%加速度傳感器%單片
후막기술%규미궤계%가속도전감기%단편
采用厚膜混合集成技术实现了硅微机械加速度传感器工程样机.介绍了厚膜混合集成电路工艺的原理和特点、传感器的结构和工作原理,研究了信号提取和处理方法,优化了反馈控制校正电路网络,利用电容转换专用集成电路,通过厚膜技术组装了工程样机.实验结果表明:该单片加速度传感器具有较高的精度和零偏稳定性.
採用厚膜混閤集成技術實現瞭硅微機械加速度傳感器工程樣機.介紹瞭厚膜混閤集成電路工藝的原理和特點、傳感器的結構和工作原理,研究瞭信號提取和處理方法,優化瞭反饋控製校正電路網絡,利用電容轉換專用集成電路,通過厚膜技術組裝瞭工程樣機.實驗結果錶明:該單片加速度傳感器具有較高的精度和零偏穩定性.
채용후막혼합집성기술실현료규미궤계가속도전감기공정양궤.개소료후막혼합집성전로공예적원리화특점、전감기적결구화공작원리,연구료신호제취화처리방법,우화료반궤공제교정전로망락,이용전용전환전용집성전로,통과후막기술조장료공정양궤.실험결과표명:해단편가속도전감기구유교고적정도화령편은정성.
