人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
1期
7-10,38
,共5页
王英民%宁丽娜%彭燕%徐化勇%胡小波%徐现刚
王英民%寧麗娜%彭燕%徐化勇%鬍小波%徐現剛
왕영민%저려나%팽연%서화용%호소파%서현강
6H-SiC%成核%表面形貌%缺陷
6H-SiC%成覈%錶麵形貌%缺陷
6H-SiC%성핵%표면형모%결함
利用光学显微镜观察了6H-SiC晶体成核表面形貌,并使用高分辨X射线衍射法检测了不同区域的结晶质量.根据表面形貌的不同将成核表面分为三个区域:平台区、斜坡区、凹坑区.平台区的结晶质量最好,斜坡区和凹坑区由于缺陷(例如微管、小角晶界和多型夹杂等)的存在导致结晶质量变差.依据温场分布以及籽晶的固定分析了凹坑产生的可能原因.根据观察纵切片发现源于斜坡区以及凹坑区的缺陷随着晶体的生长继承到晶体内部导致后期生长的晶体质量变差.最后我们提出了通过优化成核温场分布以及改善籽晶固定方法来提高晶体成核质量的思路.
利用光學顯微鏡觀察瞭6H-SiC晶體成覈錶麵形貌,併使用高分辨X射線衍射法檢測瞭不同區域的結晶質量.根據錶麵形貌的不同將成覈錶麵分為三箇區域:平檯區、斜坡區、凹坑區.平檯區的結晶質量最好,斜坡區和凹坑區由于缺陷(例如微管、小角晶界和多型夾雜等)的存在導緻結晶質量變差.依據溫場分佈以及籽晶的固定分析瞭凹坑產生的可能原因.根據觀察縱切片髮現源于斜坡區以及凹坑區的缺陷隨著晶體的生長繼承到晶體內部導緻後期生長的晶體質量變差.最後我們提齣瞭通過優化成覈溫場分佈以及改善籽晶固定方法來提高晶體成覈質量的思路.
이용광학현미경관찰료6H-SiC정체성핵표면형모,병사용고분변X사선연사법검측료불동구역적결정질량.근거표면형모적불동장성핵표면분위삼개구역:평태구、사파구、요갱구.평태구적결정질량최호,사파구화요갱구유우결함(례여미관、소각정계화다형협잡등)적존재도치결정질량변차.의거온장분포이급자정적고정분석료요갱산생적가능원인.근거관찰종절편발현원우사파구이급요갱구적결함수착정체적생장계승도정체내부도치후기생장적정체질량변차.최후아문제출료통과우화성핵온장분포이급개선자정고정방법래제고정체성핵질량적사로.
