功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
5期
794-796,799
,共4页
邵红红%王季%王晓静%于春杭%顾冬青
邵紅紅%王季%王曉靜%于春杭%顧鼕青
소홍홍%왕계%왕효정%우춘항%고동청
射频磁控溅射%Al2O3薄膜%非晶态%结合力%Ni-P中间层
射頻磁控濺射%Al2O3薄膜%非晶態%結閤力%Ni-P中間層
사빈자공천사%Al2O3박막%비정태%결합력%Ni-P중간층
采用射频磁控溅射法在40Cr基体上制备了非晶态Al2O3薄膜,并研究了工艺参数(溅射功率,工作气压,溅射时间)、预处理工艺以及中间层对薄膜结合性能的影响.试验结果表明,采用射频溅射法,在功率为250W、工作气压为5.0Pa、时间为3h条件下制备的薄膜结合力最好.基体经过腐蚀预处理和加入镍磷中间层均能改善膜基结合力,后者效果更显著.
採用射頻磁控濺射法在40Cr基體上製備瞭非晶態Al2O3薄膜,併研究瞭工藝參數(濺射功率,工作氣壓,濺射時間)、預處理工藝以及中間層對薄膜結閤性能的影響.試驗結果錶明,採用射頻濺射法,在功率為250W、工作氣壓為5.0Pa、時間為3h條件下製備的薄膜結閤力最好.基體經過腐蝕預處理和加入鎳燐中間層均能改善膜基結閤力,後者效果更顯著.
채용사빈자공천사법재40Cr기체상제비료비정태Al2O3박막,병연구료공예삼수(천사공솔,공작기압,천사시간)、예처리공예이급중간층대박막결합성능적영향.시험결과표명,채용사빈천사법,재공솔위250W、공작기압위5.0Pa、시간위3h조건하제비적박막결합력최호.기체경과부식예처리화가입얼린중간층균능개선막기결합력,후자효과경현저.
