红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2010年
3期
411-413,426
,共4页
涂凡%苏小平%屠海令%张峰燚%丁国强%王思爱
塗凡%囌小平%屠海令%張峰燚%丁國彊%王思愛
도범%소소평%도해령%장봉일%정국강%왕사애
数值模拟%VGF%GaAs%固液界面%热应力%临界剪切应力
數值模擬%VGF%GaAs%固液界麵%熱應力%臨界剪切應力
수치모의%VGF%GaAs%고액계면%열응력%림계전절응력
采用数值模拟技术模拟了10cm(4 in)VOF法GaAs单晶生长过程中的温场分布、固液界面形貌以及热应力分布.推导得到了固液界面形状与轴向温度梯度和径向温度梯度之间的关系,定义了一个固液界面形状函数,用以表征固液界面偏离度.固液界面偏离度可定义为晶体边缘和晶体中心轴向位置的差值.计算得到固液界面凹(凸)度的临界值,小于该值时,固液界面附近的热应力低于临界分解剪切应力(CRSS).模拟计算了两个时刻的晶体中的热应力分布:当偏离度大于临界值时,晶体中的热应力大于CRSS,反之,晶体中的热应力小于CRSS,验证了理论推导的结果.
採用數值模擬技術模擬瞭10cm(4 in)VOF法GaAs單晶生長過程中的溫場分佈、固液界麵形貌以及熱應力分佈.推導得到瞭固液界麵形狀與軸嚮溫度梯度和徑嚮溫度梯度之間的關繫,定義瞭一箇固液界麵形狀函數,用以錶徵固液界麵偏離度.固液界麵偏離度可定義為晶體邊緣和晶體中心軸嚮位置的差值.計算得到固液界麵凹(凸)度的臨界值,小于該值時,固液界麵附近的熱應力低于臨界分解剪切應力(CRSS).模擬計算瞭兩箇時刻的晶體中的熱應力分佈:噹偏離度大于臨界值時,晶體中的熱應力大于CRSS,反之,晶體中的熱應力小于CRSS,驗證瞭理論推導的結果.
채용수치모의기술모의료10cm(4 in)VOF법GaAs단정생장과정중적온장분포、고액계면형모이급열응력분포.추도득도료고액계면형상여축향온도제도화경향온도제도지간적관계,정의료일개고액계면형상함수,용이표정고액계면편리도.고액계면편리도가정의위정체변연화정체중심축향위치적차치.계산득도고액계면요(철)도적림계치,소우해치시,고액계면부근적열응력저우림계분해전절응력(CRSS).모의계산료량개시각적정체중적열응력분포:당편리도대우림계치시,정체중적열응력대우CRSS,반지,정체중적열응력소우CRSS,험증료이론추도적결과.
