热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2010年
14期
89-91
,共3页
吴才香%李文芳%黄文波%陈单明
吳纔香%李文芳%黃文波%陳單明
오재향%리문방%황문파%진단명
铁电薄膜%制备技术%Ti%BaTiO3
鐵電薄膜%製備技術%Ti%BaTiO3
철전박막%제비기술%Ti%BaTiO3
利用自制的微弧氧化装置,选用合适的电解液及工艺参数,在Ti基体上直接沉积钛酸盐系铁电薄膜.利用X射线、扫描电镜对薄膜的相组成、形貌进行了分析.结果表明,在本实验条件下,在Pb(CH3COO)2及BaCl2溶液中无法沉积出PbTiO3及BaTiO3,在Ba(CH3COO)2及Ba(OH)2溶液中成功沉积出BaTiO3薄膜;形貌分析表明,BaTiO3晶粒呈鳞片状,薄膜表面散布着许多微孔.
利用自製的微弧氧化裝置,選用閤適的電解液及工藝參數,在Ti基體上直接沉積鈦痠鹽繫鐵電薄膜.利用X射線、掃描電鏡對薄膜的相組成、形貌進行瞭分析.結果錶明,在本實驗條件下,在Pb(CH3COO)2及BaCl2溶液中無法沉積齣PbTiO3及BaTiO3,在Ba(CH3COO)2及Ba(OH)2溶液中成功沉積齣BaTiO3薄膜;形貌分析錶明,BaTiO3晶粒呈鱗片狀,薄膜錶麵散佈著許多微孔.
이용자제적미호양화장치,선용합괄적전해액급공예삼수,재Ti기체상직접침적태산염계철전박막.이용X사선、소묘전경대박막적상조성、형모진행료분석.결과표명,재본실험조건하,재Pb(CH3COO)2급BaCl2용액중무법침적출PbTiO3급BaTiO3,재Ba(CH3COO)2급Ba(OH)2용액중성공침적출BaTiO3박막;형모분석표명,BaTiO3정립정린편상,박막표면산포착허다미공.
