稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2012年
2期
320-323
,共4页
TiO2薄膜%纳米晶体钛%界面结合力%摩擦学性能%晶体结构
TiO2薄膜%納米晶體鈦%界麵結閤力%摩抆學性能%晶體結構
TiO2박막%납미정체태%계면결합력%마찰학성능%정체결구
采用直流磁控溅射法分别在纳米晶体钛(nano-grained Ti,NG Ti)和粗晶粒工业纯钛(coarse-grained commercial pure Ti,CG Ti)表面沉积TiO2薄膜,用扫描电镜、原子力显微镜和X射线衍射仪分析了薄膜的表面形貌和晶体结构,用摩擦试验机、划痕仪和纳米压痕仪测量两种基材表面薄膜的摩擦学性能、膜/基界面结合力、纳米硬度.系统研究了钛基材微结构纳米化对薄膜形核、生长、晶体结构和力学性能的影响规律.结果表明:钛基材微结构纳米化,显著提高薄膜形核率,细化薄膜晶粒；显著促进薄膜由锐钛矿相向金红石相转变；大幅度提高薄膜纳米硬度、界面结合力、摩擦学性能.
採用直流磁控濺射法分彆在納米晶體鈦(nano-grained Ti,NG Ti)和粗晶粒工業純鈦(coarse-grained commercial pure Ti,CG Ti)錶麵沉積TiO2薄膜,用掃描電鏡、原子力顯微鏡和X射線衍射儀分析瞭薄膜的錶麵形貌和晶體結構,用摩抆試驗機、劃痕儀和納米壓痕儀測量兩種基材錶麵薄膜的摩抆學性能、膜/基界麵結閤力、納米硬度.繫統研究瞭鈦基材微結構納米化對薄膜形覈、生長、晶體結構和力學性能的影響規律.結果錶明:鈦基材微結構納米化,顯著提高薄膜形覈率,細化薄膜晶粒；顯著促進薄膜由銳鈦礦相嚮金紅石相轉變；大幅度提高薄膜納米硬度、界麵結閤力、摩抆學性能.
채용직류자공천사법분별재납미정체태(nano-grained Ti,NG Ti)화조정립공업순태(coarse-grained commercial pure Ti,CG Ti)표면침적TiO2박막,용소묘전경、원자력현미경화X사선연사의분석료박막적표면형모화정체결구,용마찰시험궤、화흔의화납미압흔의측량량충기재표면박막적마찰학성능、막/기계면결합력、납미경도.계통연구료태기재미결구납미화대박막형핵、생장、정체결구화역학성능적영향규률.결과표명:태기재미결구납미화,현저제고박막형핵솔,세화박막정립；현저촉진박막유예태광상향금홍석상전변；대폭도제고박막납미경도、계면결합력、마찰학성능.
