表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2012年
2期
79-81
,共3页
葛培林%刘小萍%尚魁平%冶艳%鲍明东
葛培林%劉小萍%尚魁平%冶豔%鮑明東
갈배림%류소평%상괴평%야염%포명동
离子氮化%磁控溅射%渗氮层%CrTiAlN薄膜%结合强度
離子氮化%磁控濺射%滲氮層%CrTiAlN薄膜%結閤彊度
리자담화%자공천사%삼담층%CrTiAlN박막%결합강도
在经过离子氮化处理的H13钢基体上,采用闭合场非平衡磁控溅射法制备了CrTiAlN硬质涂层,并与未氮化的镀膜试样进行了膜基结合强度、膜层微观结构形貌及相组成的对比.结果表明:离子氮化处理可提高基体硬度,形成硬度梯度过渡；氮化+镀膜复合处理可以显著提高膜基结合强度.
在經過離子氮化處理的H13鋼基體上,採用閉閤場非平衡磁控濺射法製備瞭CrTiAlN硬質塗層,併與未氮化的鍍膜試樣進行瞭膜基結閤彊度、膜層微觀結構形貌及相組成的對比.結果錶明:離子氮化處理可提高基體硬度,形成硬度梯度過渡；氮化+鍍膜複閤處理可以顯著提高膜基結閤彊度.
재경과리자담화처리적H13강기체상,채용폐합장비평형자공천사법제비료CrTiAlN경질도층,병여미담화적도막시양진행료막기결합강도、막층미관결구형모급상조성적대비.결과표명:리자담화처리가제고기체경도,형성경도제도과도；담화+도막복합처리가이현저제고막기결합강도.
