YBCO超导薄膜的等离子体氟化研究
YBCO초도박막적등리자체불화연구
A STUDY OF INFLUENCE OF PLASMA FLUORINATION ON YBCO THIN FILM
  • 万方数据
    低温物理学报 저온물이학보
    CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
    2000年 6期 449-453 ,共5页

    傅泽禄%顾大振%刘雷%赵恩海%康琳%冯一军%吉争鸣%王晓书%尹晓波%杨森祖

    부택록%고대진%류뢰%조은해%강림%풍일군%길쟁명%왕효서%윤효파%양삼조



    本文利用CF4气体,对YBCO薄膜表面进行可控的rf等离子体氟化处理.AFM与XPS 的分析结果表明:适当的氟化所起的作用主要为化学反应作用.氟化可造成Y(3d)与O(1 s)诸元素的本征峰相对强度减少,甚至消失;对Ba(3d),Ba(4d)和其它元素也有影响.本文的研究为利用等离子体氟化YBCO膜形成弱化势垒层提供了初步结果.
    본문이용CF4기체,대YBCO박막표면진행가공적rf등리자체불화처리.AFM여XPS 적분석결과표명:괄당적불화소기적작용주요위화학반응작용.불화가조성Y(3d)여O(1 s)제원소적본정봉상대강도감소,심지소실;대Ba(3d),Ba(4d)화기타원소야유영향.본문적연구위이용등리자체불화YBCO막형성약화세루층제공료초보결과.
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