常规与纳米金刚石薄膜介电性能的比较
상규여납미금강석박막개전성능적비교
Comparison of Dielectric Properties between Conventional and Nanocrystalline Diamond Films
  • 万方数据
    微细加工技术 미세가공기술
    MICROFABRICATION TECHNOLOGY
    2001年 4期 50-55 ,共6页

    奚正蕾%莘海维%张志明%凌行%沈荷生%戴永兵%万永中%陆鸣

    해정뢰%신해유%장지명%릉행%침하생%대영병%만영중%륙명

    金刚石薄膜%纳米金刚石薄膜%介电性能 金剛石薄膜%納米金剛石薄膜%介電性能
    금강석박막%납미금강석박막%개전성능
    用热丝CVD方法制备了常规和纳米金刚石薄膜.测量了其电阻率、介电常数和损耗角正切值.实验结果表明,常规金刚石薄膜的电导率、损耗角正切值均小于纳米金刚石薄膜,介电性能比较理想.两种薄膜的介电常数基本相同,损耗角正切值在105Hz处都有弛豫极大值,表明在该频率范围内,主要为弛豫损耗机制.电导率和损耗的大小可能与晶界处缺陷和非金刚石相的多少有关.
    용열사CVD방법제비료상규화납미금강석박막.측량료기전조솔、개전상수화손모각정절치.실험결과표명,상규금강석박막적전도솔、손모각정절치균소우납미금강석박막,개전성능비교이상.량충박막적개전상수기본상동,손모각정절치재105Hz처도유이예겁대치,표명재해빈솔범위내,주요위이예손모궤제.전도솔화손모적대소가능여정계처결함화비금강석상적다소유관.
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