光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2003年
10期
1228-1230
,共3页
贾克辉%黄建兵%徐颖%陈红%高劲松%曹建林
賈剋輝%黃建兵%徐穎%陳紅%高勁鬆%曹建林
가극휘%황건병%서영%진홍%고경송%조건림
无栅霍尔源%光学薄膜%等离子体辅助镀膜
無柵霍爾源%光學薄膜%等離子體輔助鍍膜
무책곽이원%광학박막%등리자체보조도막
报道了用于辅助镀膜的无栅霍尔等离子体源的结构原理及性能指标,并从光学特性、显微特性和机械特性三方面着手,研究了使用霍尔源所做的单层TiO2膜的成膜工艺与质量.研究表明,使用霍尔源辅助沉积的光学薄膜折射率明显提高,更加接近于块状材料,膜层结构比传统沉积手段更加致密,附着力也很高.同时用此项技术沉积了金属增强反射镜,试验结果与理论设计结果相符,达到了理想要求.
報道瞭用于輔助鍍膜的無柵霍爾等離子體源的結構原理及性能指標,併從光學特性、顯微特性和機械特性三方麵著手,研究瞭使用霍爾源所做的單層TiO2膜的成膜工藝與質量.研究錶明,使用霍爾源輔助沉積的光學薄膜摺射率明顯提高,更加接近于塊狀材料,膜層結構比傳統沉積手段更加緻密,附著力也很高.同時用此項技術沉積瞭金屬增彊反射鏡,試驗結果與理論設計結果相符,達到瞭理想要求.
보도료용우보조도막적무책곽이등리자체원적결구원리급성능지표,병종광학특성、현미특성화궤계특성삼방면착수,연구료사용곽이원소주적단층TiO2막적성막공예여질량.연구표명,사용곽이원보조침적적광학박막절사솔명현제고,경가접근우괴상재료,막층결구비전통침적수단경가치밀,부착력야흔고.동시용차항기술침적료금속증강반사경,시험결과여이론설계결과상부,체도료이상요구.
