哈尔滨工业大学学报
哈爾濱工業大學學報
합이빈공업대학학보
JOURNAL OF HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2004年
4期
487-489
,共3页
孙宝玉%刘巨%岳晓峰%王登月%任建岳
孫寶玉%劉巨%嶽曉峰%王登月%任建嶽
손보옥%류거%악효봉%왕등월%임건악
压电陶瓷微位移器件%柔性铰链%线切割%精密定位
壓電陶瓷微位移器件%柔性鉸鏈%線切割%精密定位
압전도자미위이기건%유성교련%선절할%정밀정위
针对压电陶瓷输出位移过小的缺点,采用AE0505D16型层叠式PZT器件作为驱动器,柔性铰链作为导向机构,设计了一种超精密压电式微位移机构.该机构输出位移由原来的11.6 μm增加到100 μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要.对此微位移机构进行定位准确度测试,将它作为位移补偿装置安装于精密滚珠丝杠副驱动的机床上,机床定位误差由原来的1μm降低到0.01 μm,定位准确度得到显著提高.
針對壓電陶瓷輸齣位移過小的缺點,採用AE0505D16型層疊式PZT器件作為驅動器,柔性鉸鏈作為導嚮機構,設計瞭一種超精密壓電式微位移機構.該機構輸齣位移由原來的11.6 μm增加到100 μm,能夠滿足許多長行程、超精定位運動的需要.對此微位移機構進行定位準確度測試,將它作為位移補償裝置安裝于精密滾珠絲槓副驅動的機床上,機床定位誤差由原來的1μm降低到0.01 μm,定位準確度得到顯著提高.
침대압전도자수출위이과소적결점,채용AE0505D16형층첩식PZT기건작위구동기,유성교련작위도향궤구,설계료일충초정밀압전식미위이궤구.해궤구수출위이유원래적11.6 μm증가도100 μm,능구만족허다장행정、초정정위운동적수요.대차미위이궤구진행정위준학도측시,장타작위위이보상장치안장우정밀곤주사강부구동적궤상상,궤상정위오차유원래적1μm강저도0.01 μm,정위준학도득도현저제고.
