扬州大学学报（自然科学版）
颺州大學學報（自然科學版）
양주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF YANGZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
2期
39-42
,共4页
吴新坤%翁臻臻%郑明学%钟南保%程树英
吳新坤%翁臻臻%鄭明學%鐘南保%程樹英
오신곤%옹진진%정명학%종남보%정수영
二硫化铁薄膜%硫化%温度%性能
二硫化鐵薄膜%硫化%溫度%性能
이류화철박막%류화%온도%성능
首先采用真空热蒸发法在玻璃基片上沉积厚度约为500 nm的铁膜,然后对铁膜在温度为553～673 K的条件下恒温硫化6 h,制备FeS2薄膜.对制备的薄膜进行X射线衍射和显微结构分析,发现:合适的硫化温度为603～653 K,所得薄膜为单一物相的FeS2薄膜,n(S)/n(Fe)值为1.94～1.96,接近理想化学配比,薄膜晶粒大小均匀,表面致密.
首先採用真空熱蒸髮法在玻璃基片上沉積厚度約為500 nm的鐵膜,然後對鐵膜在溫度為553～673 K的條件下恆溫硫化6 h,製備FeS2薄膜.對製備的薄膜進行X射線衍射和顯微結構分析,髮現:閤適的硫化溫度為603～653 K,所得薄膜為單一物相的FeS2薄膜,n(S)/n(Fe)值為1.94～1.96,接近理想化學配比,薄膜晶粒大小均勻,錶麵緻密.
수선채용진공열증발법재파리기편상침적후도약위500 nm적철막,연후대철막재온도위553～673 K적조건하항온류화6 h,제비FeS2박막.대제비적박막진행X사선연사화현미결구분석,발현:합괄적류화온도위603～653 K,소득박막위단일물상적FeS2박막,n(S)/n(Fe)치위1.94～1.96,접근이상화학배비,박막정립대소균균,표면치밀.
