光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2006年
6期
106-110
,共5页
刘倩%张怡霄%郭永康%刘波%温圣林%唐雄贵
劉倩%張怡霄%郭永康%劉波%溫聖林%唐雄貴
류천%장이소%곽영강%류파%온골림%당웅귀
微光学%灰阶编码掩模%误差扩散法%边缘增强法%微透镜
微光學%灰階編碼掩模%誤差擴散法%邊緣增彊法%微透鏡
미광학%회계편마엄모%오차확산법%변연증강법%미투경
以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件.此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点.用此方法对制作微透镜的掩模进行了设计,利用预校正法和边缘增强法相结合的方法对掩模进行了优化,并对曝光、显影过程进行了模拟,得到了满意的结果.
以髮展微光學元件製作新方法為目標,提齣利用誤差擴散編碼方法設計灰階編碼掩模製作微光學元件.此方法同其他編碼方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、製作文件小、計算速度快、通用性好等優點.用此方法對製作微透鏡的掩模進行瞭設計,利用預校正法和邊緣增彊法相結閤的方法對掩模進行瞭優化,併對曝光、顯影過程進行瞭模擬,得到瞭滿意的結果.
이발전미광학원건제작신방법위목표,제출이용오차확산편마방법설계회계편마엄모제작미광학원건.차방법동기타편마방법상비,구유양화효과호、연사효솔고、제작문건소、계산속도쾌、통용성호등우점.용차방법대제작미투경적엄모진행료설계,이용예교정법화변연증강법상결합적방법대엄모진행료우화,병대폭광、현영과정진행료모의,득도료만의적결과.
