激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2006年
6期
561-563,580
,共4页
散射%光强空间分布%米氏理论%相差模型%微分散射截面
散射%光彊空間分佈%米氏理論%相差模型%微分散射截麵
산사%광강공간분포%미씨이론%상차모형%미분산사절면
为了研究硅片表面球形粒子的光散射情况,根据Mie氏理论,采用相差模型,得到了球形粒子在任意线偏振光照射下的散射光光强空间分布的计算方法,给出了球形粒子在s偏振和p偏振光分别以0°和70°角照射下散射光微分散射截面的模拟计算结果,并与相关的实验结果进行了比较,对硅片缺陷自动检测仪的研制具有指导意义.
為瞭研究硅片錶麵毬形粒子的光散射情況,根據Mie氏理論,採用相差模型,得到瞭毬形粒子在任意線偏振光照射下的散射光光彊空間分佈的計算方法,給齣瞭毬形粒子在s偏振和p偏振光分彆以0°和70°角照射下散射光微分散射截麵的模擬計算結果,併與相關的實驗結果進行瞭比較,對硅片缺陷自動檢測儀的研製具有指導意義.
위료연구규편표면구형입자적광산사정황,근거Mie씨이론,채용상차모형,득도료구형입자재임의선편진광조사하적산사광광강공간분포적계산방법,급출료구형입자재s편진화p편진광분별이0°화70°각조사하산사광미분산사절면적모의계산결과,병여상관적실험결과진행료비교,대규편결함자동검측의적연제구유지도의의.
