电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2009年
4期
24-26,33
,共4页
宋佳%朴林华%刘玉洁%李言杰%张福学
宋佳%樸林華%劉玉潔%李言傑%張福學
송가%박림화%류옥길%리언걸%장복학
全方位水平姿态%流场%温度场%灵敏度%传感器
全方位水平姿態%流場%溫度場%靈敏度%傳感器
전방위수평자태%류장%온도장%령민도%전감기
采用有限元方法,借建立微机械气流式全方位水平姿态传感器敏感元件的三维模型,计算了热敏电阻在不同排列方式和不同倾斜状态下,敏感元件内温度场和流场的分布.结果表明:当两两相对的检测热敏电阻之间的距离d改变时,温度场和流场都发生变化;两两相对的检测热敏电阻处气流速度之差Δv与倾角关系曲线也随d发生变化.其中,d为900 μm是热敏电阻的最佳排列方式.
採用有限元方法,藉建立微機械氣流式全方位水平姿態傳感器敏感元件的三維模型,計算瞭熱敏電阻在不同排列方式和不同傾斜狀態下,敏感元件內溫度場和流場的分佈.結果錶明:噹兩兩相對的檢測熱敏電阻之間的距離d改變時,溫度場和流場都髮生變化;兩兩相對的檢測熱敏電阻處氣流速度之差Δv與傾角關繫麯線也隨d髮生變化.其中,d為900 μm是熱敏電阻的最佳排列方式.
채용유한원방법,차건립미궤계기류식전방위수평자태전감기민감원건적삼유모형,계산료열민전조재불동배렬방식화불동경사상태하,민감원건내온도장화류장적분포.결과표명:당량량상대적검측열민전조지간적거리d개변시,온도장화류장도발생변화;량량상대적검측열민전조처기류속도지차Δv여경각관계곡선야수d발생변화.기중,d위900 μm시열민전조적최가배렬방식.
