MOD法在种子层/Ni-W上制备La0.4Sr0.6TiO3薄膜的研究
MOD법재충자층/Ni-W상제비La0.4Sr0.6TiO3박막적연구
Preparation of La0.4Sr0.6TiOs films on seed layers/Ni-5% W with metal-organic deposition method
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2011年 1期 40-42,46 ,共4页

    罗清威%王雪%李风华%冉阿倩%李英楠%樊占国

    라청위%왕설%리풍화%염아천%리영남%번점국

    SrTiO3种子层%La0.4Sr0.6TiO3缓冲层%热处理%取向 SrTiO3種子層%La0.4Sr0.6TiO3緩遲層%熱處理%取嚮
    SrTiO3충자층%La0.4Sr0.6TiO3완충층%열처리%취향
    采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5%(原子分数)W基带上制备了SrTiO3种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜.SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致.通过XRD和SEM研究了不同热处理温度对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和微观形貌的影响,结果显示,在Ar-4%H2气氛下于950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现.
    채용금속유궤침적법(MOD)재쌍축직구적Ni-5%(원자분수)W기대상제비료SrTiO3충자층,연후재재충자층상침적La0.4Sr0.6TiO3박막.SEM도상현시충자층과립분포균균,대소기본일치.통과XRD화SEM연구료불동열처리온도대La0.4Sr0.6TiO3박막취향화미관형모적영향,결과현시,재Ar-4%H2기분하우950℃제비적박막취향량호,표면광활치밀,무렬문화공동출현.
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