CAJ | 학술논문

受铜线带宽小、延时大、功耗高的限制,下一代芯片互连较为可行的一种解决方式是采用光互连.调制器作为其中的关键器件,有重要的研究意义.设计了一种新型的硅基双缝隙波导电光调制器,该调制器结构采用法布里-珀罗微谐振器,依靠缝隙内高非线性聚合物的快速电光效应,通过外加电压达到调制效果.调制器结构包含了新型的一般微纳波导到双缝隙波导的模式转换器,降低了传输损耗,也更利于电极的工艺制作.首先对设计结构进行仿真分析,得到合适的设计参数.然后,对调制器所需的工艺进行反复验证,包括工艺制备中参数的优化等,通过使用电子显微镜已观测到较好的光刻线宽、刻蚀深度以及侧壁粗糙度.初步完成了调制器硅基部分的制备,为下一步聚合物工艺打下基础.
수동선대관소、연시대、공모고적한제,하일대심편호련교위가행적일충해결방식시채용광호련.조제기작위기중적관건기건,유중요적연구의의.설계료일충신형적규기쌍봉극파도전광조제기,해조제기결구채용법포리-박라미해진기,의고봉극내고비선성취합물적쾌속전광효응,통과외가전압체도조제효과.조제기결구포함료신형적일반미납파도도쌍봉극파도적모식전환기,강저료전수손모,야경리우전겁적공예제작.수선대설계결구진행방진분석,득도합괄적설계삼수.연후,대조제기소수적공예진행반복험증,포괄공예제비중삼수적우화등,통과사용전자현미경이관측도교호적광각선관、각식심도이급측벽조조도.초보완성료조제기규기부분적제비,위하일보취합물공예타하기출.