新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2012年
9期
70-73
,共4页
DLC膜%磁过滤%拉曼分析%偏压
DLC膜%磁過濾%拉曼分析%偏壓
DLC막%자과려%랍만분석%편압
介绍了弯曲电弧磁过滤设备,并利用脉冲磁过滤阴极真空电弧沉积技术,在高速钢基体上制备了DLC膜.对制得的DLC薄膜表面形貌、Raman光谱及纳米硬度和弹性模量等进行了测试.结果表明,脉冲磁过滤阴极电弧法制备的DLC膜具有优良的性能.拉曼光谱分析显示,制得的薄膜为非晶结构,具有明显的sp2和sp3键杂化结构,符合DLC膜的特征,基体负偏压为50 V时,沉积的DLC膜Raman光谱的ID/IG值最小,sp3键含量最高,纳米硬度和弹性模量值达到最高,分别为29.94 GPa和333.9 GPa.
介紹瞭彎麯電弧磁過濾設備,併利用脈遲磁過濾陰極真空電弧沉積技術,在高速鋼基體上製備瞭DLC膜.對製得的DLC薄膜錶麵形貌、Raman光譜及納米硬度和彈性模量等進行瞭測試.結果錶明,脈遲磁過濾陰極電弧法製備的DLC膜具有優良的性能.拉曼光譜分析顯示,製得的薄膜為非晶結構,具有明顯的sp2和sp3鍵雜化結構,符閤DLC膜的特徵,基體負偏壓為50 V時,沉積的DLC膜Raman光譜的ID/IG值最小,sp3鍵含量最高,納米硬度和彈性模量值達到最高,分彆為29.94 GPa和333.9 GPa.
개소료만곡전호자과려설비,병이용맥충자과려음겁진공전호침적기술,재고속강기체상제비료DLC막.대제득적DLC박막표면형모、Raman광보급납미경도화탄성모량등진행료측시.결과표명,맥충자과려음겁전호법제비적DLC막구유우량적성능.랍만광보분석현시,제득적박막위비정결구,구유명현적sp2화sp3건잡화결구,부합DLC막적특정,기체부편압위50 V시,침적적DLC막Raman광보적ID/IG치최소,sp3건함량최고,납미경도화탄성모량치체도최고,분별위29.94 GPa화333.9 GPa.
