太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2003年
z1期
77-81
,共5页
方玲%张弓%庄大明%赵方红%杨伟方%吴敏生
方玲%張弓%莊大明%趙方紅%楊偉方%吳敏生
방령%장궁%장대명%조방홍%양위방%오민생
太阳电池%CIS薄膜%固态硒化%磁控溅射
太暘電池%CIS薄膜%固態硒化%磁控濺射
태양전지%CIS박막%고태서화%자공천사
采用中频交流磁控溅射方法在镀有Mo薄膜的玻璃衬底上沉积Cu-In薄膜,然后在硒气氛下硒化形成CIS薄膜.对薄膜的成分、结构、表面形貌及电学性能进行了表征和检测.测试结果表明,CIS薄膜中Cu和In的含量主要取决于Cu-In薄膜中Cu和In的成分配比.CIS薄膜的表面形貌取决于溅射沉积Cu-In薄膜的靶电流密度.硒化过程中基片温度和硒源温度对CIS薄膜中Se含量及薄膜的微观结构和电学性能影响很大.在适当的硒化工艺条件下,获得了性能优异的CIS薄膜.
採用中頻交流磁控濺射方法在鍍有Mo薄膜的玻璃襯底上沉積Cu-In薄膜,然後在硒氣氛下硒化形成CIS薄膜.對薄膜的成分、結構、錶麵形貌及電學性能進行瞭錶徵和檢測.測試結果錶明,CIS薄膜中Cu和In的含量主要取決于Cu-In薄膜中Cu和In的成分配比.CIS薄膜的錶麵形貌取決于濺射沉積Cu-In薄膜的靶電流密度.硒化過程中基片溫度和硒源溫度對CIS薄膜中Se含量及薄膜的微觀結構和電學性能影響很大.在適噹的硒化工藝條件下,穫得瞭性能優異的CIS薄膜.
채용중빈교류자공천사방법재도유Mo박막적파리츤저상침적Cu-In박막,연후재서기분하서화형성CIS박막.대박막적성분、결구、표면형모급전학성능진행료표정화검측.측시결과표명,CIS박막중Cu화In적함량주요취결우Cu-In박막중Cu화In적성분배비.CIS박막적표면형모취결우천사침적Cu-In박막적파전류밀도.서화과정중기편온도화서원온도대CIS박막중Se함량급박막적미관결구화전학성능영향흔대.재괄당적서화공예조건하,획득료성능우이적CIS박막.
