钨丝掩模大角度倾斜离子注入850nm垂直腔面发射激光器及其高频调制特性
오사엄모대각도경사리자주입850nm수직강면발사격광기급기고빈조제특성
850nm Vertical Cavity Surface Emitting Laser Fabricated by Large Inclined Angle Ion Implantation Using Tungsten as Mask and Its Modulation Character
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2004年 9期 1143-1147 ,共5页

    王海嵩%杜国同%许成栋%宋俊峰%唐君%陈弘达%刘宇%祝宁华

    왕해숭%두국동%허성동%송준봉%당군%진홍체%류우%축저화

    钨丝掩模%垂直腔面发射激光器%高频特性 鎢絲掩模%垂直腔麵髮射激光器%高頻特性
    오사엄모%수직강면발사격광기%고빈특성
    采用钨丝掩模技术,通过调整制作过程中的工艺参数,研制出批量器件阈值在2mA以内,最低阈值为1.25mA的850nm垂直腔面发射激光器.同时对TO封装的器件进行了高频特性测试,结果表明3dB带宽最高为4.0GHz,在应用于光通信收发模块的商品化同类器件中处于较好的水平,适合中、高速光通信应用.
    채용오사엄모기술,통과조정제작과정중적공예삼수,연제출비량기건역치재2mA이내,최저역치위1.25mA적850nm수직강면발사격광기.동시대TO봉장적기건진행료고빈특성측시,결과표명3dB대관최고위4.0GHz,재응용우광통신수발모괴적상품화동류기건중처우교호적수평,괄합중、고속광통신응용.
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