兰州大学学报（自然科学版）
蘭州大學學報（自然科學版）
란주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LANZHOU UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES）
2006年
5期
106-108
,共3页
薄膜缺陷%标准浸透模型%偏压浸透模型
薄膜缺陷%標準浸透模型%偏壓浸透模型
박막결함%표준침투모형%편압침투모형
偏压浸透模型是基于对实际薄膜设备退化的分析而提出的,研究的是类似于薄膜退化过程的导体向绝缘体或半导体的转化过程,并对标准浸透模型和偏压浸透模型做一对比,进一步说明偏压浸透模型更适合于分析实际薄膜的退化.
偏壓浸透模型是基于對實際薄膜設備退化的分析而提齣的,研究的是類似于薄膜退化過程的導體嚮絕緣體或半導體的轉化過程,併對標準浸透模型和偏壓浸透模型做一對比,進一步說明偏壓浸透模型更適閤于分析實際薄膜的退化.
편압침투모형시기우대실제박막설비퇴화적분석이제출적,연구적시유사우박막퇴화과정적도체향절연체혹반도체적전화과정,병대표준침투모형화편압침투모형주일대비,진일보설명편압침투모형경괄합우분석실제박막적퇴화.
