光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
7期
1102-1106
,共5页
侯海虹%沈健%沈自才%邵建达%易葵%范正修
侯海虹%瀋健%瀋自纔%邵建達%易葵%範正脩
후해홍%침건%침자재%소건체%역규%범정수
薄膜光学%表面散射模型%矩阵法%总积分散射
薄膜光學%錶麵散射模型%矩陣法%總積分散射
박막광학%표면산사모형%구진법%총적분산사
提出了一种计算光学介质膜系表面总积分散射(TIS)的理论模型.该模型认为,介质膜系粗糙的膜层界面和表面为微观结构不均匀的微薄过渡区;过渡区可用折射率为不同常量的层数足够多的均匀子层来代替,同时这些均匀子层的折射率变化满足指数函数的分布规律.利用矩阵法对积分散射的表达式进行了推导.对于电子束蒸发方法在K9玻璃上沉积的ZrO2单层膜,分层界面散射模型对积分散射的理论计算值要比非相关表面散射模型的计算值更加符合总积分散射仪的实验测量结果.
提齣瞭一種計算光學介質膜繫錶麵總積分散射(TIS)的理論模型.該模型認為,介質膜繫粗糙的膜層界麵和錶麵為微觀結構不均勻的微薄過渡區;過渡區可用摺射率為不同常量的層數足夠多的均勻子層來代替,同時這些均勻子層的摺射率變化滿足指數函數的分佈規律.利用矩陣法對積分散射的錶達式進行瞭推導.對于電子束蒸髮方法在K9玻璃上沉積的ZrO2單層膜,分層界麵散射模型對積分散射的理論計算值要比非相關錶麵散射模型的計算值更加符閤總積分散射儀的實驗測量結果.
제출료일충계산광학개질막계표면총적분산사(TIS)적이론모형.해모형인위,개질막계조조적막층계면화표면위미관결구불균균적미박과도구;과도구가용절사솔위불동상량적층수족구다적균균자층래대체,동시저사균균자층적절사솔변화만족지수함수적분포규률.이용구진법대적분산사적표체식진행료추도.대우전자속증발방법재K9파리상침적적ZrO2단층막,분층계면산사모형대적분산사적이론계산치요비비상관표면산사모형적계산치경가부합총적분산사의적실험측량결과.
