中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
4期
989-992
,共4页
王英龙%褚立志%邓泽超%闫常瑜%傅广生
王英龍%褚立誌%鄧澤超%閆常瑜%傅廣生
왕영룡%저립지%산택초%염상유%부엄생
薄膜%纳米Si晶粒%脉冲激光烧蚀%Monte%Carlo模拟%振荡稳定时间
薄膜%納米Si晶粒%脈遲激光燒蝕%Monte%Carlo模擬%振盪穩定時間
박막%납미Si정립%맥충격광소식%Monte%Carlo모의%진탕은정시간
采用脉冲激光烧蚀装置,在10 Pa的氩气环境下,在1～6 cm范围内调整衬底与靶的距离沉积制备了纳米Si薄膜.X射线衍射(XRD)谱和Raman谱测量均证实,纳米Si晶粒已经形成;利用扫描电子显微镜(SEM)观测了所形成的纳米Si薄膜的表面形貌.结果表明,随着靶衬间距的增加,所形成的纳米Si晶粒的平均尺寸减小(尺寸均匀性变差),在3 cm时达到最小值(尺寸分布最均匀),而后开始增大(尺寸均匀性变差).利用蒙特-卡罗(Monte Carlo)方法,对不同靶衬间距下烧蚀产物的输运动力学过程进行了数值模拟,得到与实验结果相同的结论.
採用脈遲激光燒蝕裝置,在10 Pa的氬氣環境下,在1～6 cm範圍內調整襯底與靶的距離沉積製備瞭納米Si薄膜.X射線衍射(XRD)譜和Raman譜測量均證實,納米Si晶粒已經形成;利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀測瞭所形成的納米Si薄膜的錶麵形貌.結果錶明,隨著靶襯間距的增加,所形成的納米Si晶粒的平均呎吋減小(呎吋均勻性變差),在3 cm時達到最小值(呎吋分佈最均勻),而後開始增大(呎吋均勻性變差).利用矇特-卡囉(Monte Carlo)方法,對不同靶襯間距下燒蝕產物的輸運動力學過程進行瞭數值模擬,得到與實驗結果相同的結論.
채용맥충격광소식장치,재10 Pa적아기배경하,재1～6 cm범위내조정츤저여파적거리침적제비료납미Si박막.X사선연사(XRD)보화Raman보측량균증실,납미Si정립이경형성;이용소묘전자현미경(SEM)관측료소형성적납미Si박막적표면형모.결과표명,수착파츤간거적증가,소형성적납미Si정립적평균척촌감소(척촌균균성변차),재3 cm시체도최소치(척촌분포최균균),이후개시증대(척촌균균성변차).이용몽특-잡라(Monte Carlo)방법,대불동파츤간거하소식산물적수운동역학과정진행료수치모의,득도여실험결과상동적결론.
