塑料工业
塑料工業
소료공업
CHINA PLASTICS INDUSTRY
2009年
5期
31-34
,共4页
蓝才红%蒋炳炎%刘瑶%陈闻
藍纔紅%蔣炳炎%劉瑤%陳聞
람재홍%장병염%류요%진문
键合%微流控芯片%微通道
鍵閤%微流控芯片%微通道
건합%미류공심편%미통도
微流控芯片在化学分析、临床诊断等领域的前景应用广阔,传统热压成型和键合方法自动化程度低、制作周期长,不能满足芯片高效大批量生产的要求;提出了在模具上压缩芯片的键合方法,并利用有限元软件仿真研究了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)在不同键合温度和芯片压缩厚度下基片内微通道的变形.结果表明:基片上微通道不能保持键合前的截面尺寸和尺寸精度,通道截面面积变小,在通道高度方向上的变形要远远大于宽度方向上的变形;变形随着温度升高和压缩厚度增加而增大,由热膨胀引起的变形较小,压缩厚度对微通道质量影响要大于键合温度.
微流控芯片在化學分析、臨床診斷等領域的前景應用廣闊,傳統熱壓成型和鍵閤方法自動化程度低、製作週期長,不能滿足芯片高效大批量生產的要求;提齣瞭在模具上壓縮芯片的鍵閤方法,併利用有限元軟件倣真研究瞭聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)在不同鍵閤溫度和芯片壓縮厚度下基片內微通道的變形.結果錶明:基片上微通道不能保持鍵閤前的截麵呎吋和呎吋精度,通道截麵麵積變小,在通道高度方嚮上的變形要遠遠大于寬度方嚮上的變形;變形隨著溫度升高和壓縮厚度增加而增大,由熱膨脹引起的變形較小,壓縮厚度對微通道質量影響要大于鍵閤溫度.
미류공심편재화학분석、림상진단등영역적전경응용엄활,전통열압성형화건합방법자동화정도저、제작주기장,불능만족심편고효대비량생산적요구;제출료재모구상압축심편적건합방법,병이용유한원연건방진연구료취갑기병희산갑지(PMMA)재불동건합온도화심편압축후도하기편내미통도적변형.결과표명:기편상미통도불능보지건합전적절면척촌화척촌정도,통도절면면적변소,재통도고도방향상적변형요원원대우관도방향상적변형;변형수착온도승고화압축후도증가이증대,유열팽창인기적변형교소,압축후도대미통도질량영향요대우건합온도.
