激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
3期
308-311
,共4页
常艳贺%金春水%邓文渊%李春
常豔賀%金春水%鄧文淵%李春
상염하%금춘수%산문연%리춘
薄膜%193nm%损伤形貌%激光损伤阈值
薄膜%193nm%損傷形貌%激光損傷閾值
박막%193nm%손상형모%격광손상역치
概述了193nm薄膜激光诱导损伤的研究进展.通过对紫外到深紫外波段几种典型薄膜损伤形貌的介绍,对比分析了193nm薄膜激光诱导损伤的可能原因.指出在该波段的氧化物薄膜损伤中,吸收是导致薄膜大块损伤的重要因素,而氟化物的薄膜损伤则是由沉积过程的膜层局部缺陷造成.根据薄膜样品的损伤分析表明,薄膜的某些制备参量与激光损伤阈值相关联.为提高薄膜元件的抗激光损伤能力,分别从薄膜材料的选择、膜系设计的完善以及沉积工艺的优化等3个方面出发,总结出改善薄膜激光损伤阈值的方法.
概述瞭193nm薄膜激光誘導損傷的研究進展.通過對紫外到深紫外波段幾種典型薄膜損傷形貌的介紹,對比分析瞭193nm薄膜激光誘導損傷的可能原因.指齣在該波段的氧化物薄膜損傷中,吸收是導緻薄膜大塊損傷的重要因素,而氟化物的薄膜損傷則是由沉積過程的膜層跼部缺陷造成.根據薄膜樣品的損傷分析錶明,薄膜的某些製備參量與激光損傷閾值相關聯.為提高薄膜元件的抗激光損傷能力,分彆從薄膜材料的選擇、膜繫設計的完善以及沉積工藝的優化等3箇方麵齣髮,總結齣改善薄膜激光損傷閾值的方法.
개술료193nm박막격광유도손상적연구진전.통과대자외도심자외파단궤충전형박막손상형모적개소,대비분석료193nm박막격광유도손상적가능원인.지출재해파단적양화물박막손상중,흡수시도치박막대괴손상적중요인소,이불화물적박막손상칙시유침적과정적막층국부결함조성.근거박막양품적손상분석표명,박막적모사제비삼량여격광손상역치상관련.위제고박막원건적항격광손상능력,분별종박막재료적선택、막계설계적완선이급침적공예적우화등3개방면출발,총결출개선박막격광손상역치적방법.
