真空
真空
진공
VACUUM
2011年
5期
25-28
,共4页
李建%王坤%王世庆%柳建%徐灵飞%孙乃峰
李建%王坤%王世慶%柳建%徐靈飛%孫迺峰
리건%왕곤%왕세경%류건%서령비%손내봉
表面波等离子体%潘宁效应%静电双探针
錶麵波等離子體%潘寧效應%靜電雙探針
표면파등리자체%반저효응%정전쌍탐침
由单极驱动的表面波等离子体(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年发展起来的一种低气压、高密度等离子体,这种技术非常适用于等离子体天线等领域.本文介绍了一种简易实用的SWP源,研究了He-Ar组成的潘宁气体对于表面波等离子体柱的放电起始功率及维持功率的影响.测试了不同潘宁气体配比时的等离子体密度和等离子体温度.研究结果表明,应用合适配比的潘宁气体对于等离子体特性有很大影响,它可以有效地降低放电起始功率和放电维持功率,提高等离子体密度,等离子体温度略降低.
由單極驅動的錶麵波等離子體(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年髮展起來的一種低氣壓、高密度等離子體,這種技術非常適用于等離子體天線等領域.本文介紹瞭一種簡易實用的SWP源,研究瞭He-Ar組成的潘寧氣體對于錶麵波等離子體柱的放電起始功率及維持功率的影響.測試瞭不同潘寧氣體配比時的等離子體密度和等離子體溫度.研究結果錶明,應用閤適配比的潘寧氣體對于等離子體特性有很大影響,它可以有效地降低放電起始功率和放電維持功率,提高等離子體密度,等離子體溫度略降低.
유단겁구동적표면파등리자체(Surface-wave-sustained plasma,SWP)시근년발전기래적일충저기압、고밀도등리자체,저충기술비상괄용우등리자체천선등영역.본문개소료일충간역실용적SWP원,연구료He-Ar조성적반저기체대우표면파등리자체주적방전기시공솔급유지공솔적영향.측시료불동반저기체배비시적등리자체밀도화등리자체온도.연구결과표명,응용합괄배비적반저기체대우등리자체특성유흔대영향,타가이유효지강저방전기시공솔화방전유지공솔,제고등리자체밀도,등리자체온도략강저.
